● 真空控制单元全部集合在一个控制盒内。
● 采用独立的蒸镀电流控制器，操作方便快捷。
● 真空腔体设有1个KF40旁抽阀（直接与前级机械泵相连，方便快速取放样品，提高效率）、1个CF150闸板 阀（直接与分子泵相连）、1个KF16法兰（安装电阻规）、5个CF35法兰（1个安装电离规，4个备用，便于安装其他设备）。
● 在腔体底部配有5个水冷电极，可支持4个蒸镀加热舟。
● 4个蒸镀加热舟上方配有独立的可移动挡板，有效地避免蒸发时相互污染。
● 样品台安装在腔体的顶部。
● 腔内可装高分辨率的薄膜测厚仪，精度为10Å。
● 可使用循环水冷机。

● 输入：单相AC208-240V，20A，50Hz/60Hz，<10KW
● 输出：0-8V AC 可调，最大电流400A，最大功率8000W（包括真空泵）
● 真空腔：Φ300mm（内径）×400mm，不锈钢，内壁经电抛光处理
  
● 腔门：Φ200mm
● 观察窗：Φ95mm，采用专用密封圈密封
● 真空泵：高抽速涡轮分子泵，抽速600L/s（标配GZK-103G分子泵）
● 真空度：5.0×10-6torr（泵开启40min后）
● 极限真空度：5.0×10-7torr （加热温度为100℃-150℃）
● 漏率：5.0×10-7Pa/s
● 样品台：Φ140mm
● 蒸发舟与样品台间距：260mm
● 冷却水需量：15L/min

650mm×1200mm×1600mm；