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主要应用于大专院校、科研机构、企业实验室及微小产品进行真空镀膜等
真空处理的工艺研究、样板试制、操作培训和生产。
| 功能特点 |
|---|
采用桌面小型一体化结构，将真空腔体、镀膜电源及控制系统进行整合设计，体积与一台A3打印机相仿。
采用电阻式双蒸发源结构，可快速实现蒸发源的转换。蒸发单元中装有两组蒸发电极可安装不同的蒸发源，
适应相应的镀膜材料。
配有0.1%精度蒸发电源，并具有恒流输出功能，对蒸发舟能起到很好的保护作用。
可选配石英晶体膜厚控制仪，在镀膜过程中对镀膜速率和膜层厚度进行控制。
可将采集到的镀膜数据保存到U盘，便于用户分析控制（选配）。
本机将所有功能设计成标准化模块，根据用户不同的需求对相应模块进行组合，以达到最好镀膜环境，
并便于用户维修与维护。
操作控制采用7英寸TFT显示屏显示操作界面，触屏操作，实现全图形化界面，易用易懂。
| 技术参数 | |
|---|---|
| 安装条件 | 本设备要求在海拔1000m以下，温度25℃±15℃，湿度55%Rh±10%Rh下使用。 |
| 水 | 设备配有自循环冷却水机（加注纯净水或者去离子水） |
| 电 | AC220V 50Hz，必须有良好接地 |
| 气 | 设备腔室内需充注氩气（纯度99.99%以上），需自备氩气气瓶（自带Ø6mm双卡套接头）及减压阀 |
| 工作台 | 落地式，占地面积2m2以上 |
| 通风装置 | 需要 |
| 电源 | AC220V 1500W |
| 蒸发电源功率 | 1000W 5V 200A |
| 蒸发电极有效距离 | 44mm |
| 样品台 | Ø120mm（可旋转） |
| 膜厚测量精度 | 0.1Å或0.01Å（可选配高精度型） |
| 外接真空机组 | 扩散泵机组（可选配国产110机组或进口机组）（不建议使用扩散泵） |
| 极限真空度 | >3.0×10-3torr（扩散泵）、3.0×10-4torr（分子泵）（不建议使用扩散泵） |
| 工作真空度 | 5.0×10-3torr |
| 真空接口 | KF40 |
| 使用环境 | 温度35℃，湿度<75%（相对湿度）不结露，海拔<1500m |
| 尺寸 | 440mm×240mm×260mm（不包括真空机组） |
| 重量 | 约47kg（不包括真空泵） |
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