OMRON/欧姆龙 品牌
代理商厂商性质
上海市所在地
日本欧姆龙OMRON光电传感器
特点：
通过与导槽并用的方式设定落座位置
与晶圆片托架的接触面使用了耐化学药品性强的氟素树脂
*的光学系统几乎可稳定检测所有晶圆片托架
采用抗干扰光的变调光方式
使用环保导线（无滑石粉）
种类：
本体
附件（另售）
注： 不具备传感器的功能。
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日本欧姆龙OMRON光电传感器
额定值/性能：
| 项目 型号 | EE- SPY801/802 | |
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| 检测距离 (标准检测物体) | 0～5mm (反射率90% 白色画纸15×15mm2) 0～3mm (反射率10% 黑纸15×15mm2) | |
| 检测物体 | 晶圆片托架(透明物体、不透明物体) | |
| 动作指示灯 | 物体检测时亮灯(橙色) | |
| 光源(大发光波长) | GaAs红外发光二级管(940nm) | |
| 电源电压 | DC12～24V±10% 纹波(p-p) 5%以下 | |
| 消耗电流 | 30mA以下 | |
| 控制输出 | NPN集电极开路输出、DC5～24V、100mA以下、关机电流0.5mA以下 残留电压：0.8V以下(负载电流100mA时) 残留电压：0.4V以下(负载电流40mA时) | |
| 响应时间 | 5ms以下 | |
| 使用环境照度 | 受光面照度 白炽灯、太阳光：各3,000lx以下 | |
| 环境温度范围 | 工作时：-10～+55℃、保存时：-25～+65℃ (无结冰) | |
| 环境温度范围 | 工作时：5～85%RH、保存时：5～95%RH (无结露) | |
| 振动(耐久) | 1～500Hz 单振幅1.0mm或150m/s2 X、Y、Z各方向 3次扫频、11min/扫频 | |
| 冲击(耐久) | 500m/s2 X、Y、Z各方向 3次 | |
| 保护结构 | IEC规格 IP30 | |
| 连接方式 | 导线引出型(标准导线长2m) | |
| 质量(包装后) | 本体(传感器)：约43g、附件(导槽)：约9g | |
| 材质 | 外壳 | 四氟乙烯-乙烯共聚物(ETFE) |
| 底板 | 聚苯二甲酸丁二醇酯 | |
| 附件 | 使用说明书 | |
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