激光共聚焦显微镜OLS5000可观察纳米范围的台阶，并可测量亚微米级别的高度差。还可以测量从线到面的表面粗糙度。配备的两套光学系统（彩色成像光学系统和激光共焦光学系统）让其能够获取彩色信息、高度信息和高分辨率图像。

激光共聚焦显微镜OLS5000的关键

捕捉任意表面形状。

快速获得可靠数据。

使用简单 - 只需放置样品并按一下按钮即可。

测量具有挑战性的样品。

价值1：捕捉任意表面形状。 

OLS5000显微镜使其能够进行高分辨率的3D样品测量。

价值2、快速获得可靠数据

 该显微镜的扫描算法既可提高数据质量又可提高速度，从而缩短您的扫描时间，简化您的工作流程，实现生产力的提升。

价值3、使用简单，只需放置样品并按一下按钮即可

LEXT® OLS5000显微镜具有自动数据采集功能，因而无需进行复杂的设置调整。 甚至生疏的用户也可以获得准确的检测结果。

价值4、可测量具有挑战性的样品

低输出、非接触式无损激光测量意味着不需要样品制备。可以在不损坏易损性材料的情况下对其进行测量。扩展架可容纳高达210毫米的样品，而超长工作距离物镜能够测量深度可达25毫米的凹坑。在测量这两类样品时，您只需将样品放在载物台上即可。

获取彩色信息
彩色成像光学系统使用利用白光LED光源和CMOS相机获取彩色信息。
[获取3D 高度信息和高分辨率共焦图像]
激光共焦光学系统采用405纳米激光二极管光源和高灵敏度光电倍增管获得共焦图像。浅焦深使其能够用于测量样品的表面不规则性。

纳米激光光源

光学显微镜的横向分辨率随着波长的减小而获得提升。采用短波长激光的激光显微镜相比采用可见光（峰值550纳米）的传统显微镜具有更优的横向分辨率。 OLS5000显微镜利用405纳米短波长激光二极管获得横向分辨率。

激光共焦光学系统

激光共焦光学系统仅接收通过圆形针孔聚焦的光线，并非采集从样品上反射和散射的所有光线。这样有助于消除模糊，让其能够获得比普通显微镜对比度更高的图像

X-Y扫描仪

OLS5000显微镜配有光学扫描仪。通过将采用电磁感应MEMS谐振扫描仪的X轴与采用Galvano扫描振镜的Y轴相结合，能够让X-Y扫描仪定位于相对物镜瞳镜共轭的位置，因而能够实现具有较低扫描轨迹失真和较小光学像差的X-Y扫描。

高度测量原理

在测量高度时，显微镜通过自动移动焦点位置获取多个共焦图像。
根据非连续的焦点位置（Z）和检测光强度（I）可以估算每个像素的光强变化曲线（I-Z曲线），并获得其峰值位置和峰值强度。由于所有像素的峰值位置与样品表面的不规则性相对应，因此可以获得样品表面的3D形状信息。与此类似，通过峰值强度数据可以获得针对样品表面所有位置焦点的图像（扩展图像）。