纳米白光干涉仪 表面细微三维形貌测量系统基于白光干涉仪原理、结合Z向精密压电扫描模块和三维重建算法准确获 得各种精密器件和材料表面形貌数据，适用于反 射率0.05%-100%、超光滑至粗糙等多种表面测量求，能够实现纳米级精度测量、重构表面形 貌3D轮廓。

技术参数

型号：PZ-Mico D

测试技术： 3D相干扫描干涉法，抗震算法，移相干涉法

光源：固态白光光源，软件控制切换光谱（VSI和PSI）

扫描装置：精密压电陶瓷驱动，闭环反馈电容控制精密压电陶瓷

像素分辨率：1280X1024

视场：  10倍范围1200X950

纵向扫描范围：25mm

横向分辨率：0.05-2.68µm

轴向分辨率：VSI：0.5nmPSI：0.1nm

台阶高度精度（示值误差）±0.1nm（5µm标准台阶）

台阶高度重复性：0 . 1％1σ（5µm标准台阶

粗糙度 RMS 2

粗糙度RMS重复性:0.01nm

被测样品反射率：0.05%-100%

Z轴：电动Z平台100mm，1μm分辨率）

位移台：电控平台移动范围XY:100x100mm

产品细节

应用范围