产品简介：

共面性尺寸测量仪通过线激光对芯片有焊锡球及的表面，或者IC上的引脚面进行扫描，采集出三维点集数据，并由软件处理生成工件的3D图形，通过软件算法提取3D图中每个焊锡球的高点或者低点，再用所有高点或者低点生成一个平面，并计算出平面度值即为焊锡球或者引脚共面性。设备采用固定龙门式XYZ三轴运动结构，内部主体框架为大理石，可以保证稳定的力学结构。托盘和被测工件可放在工作台玻璃上，前后运动至测量区域，线扫激光头和视觉物镜组合体可以沿着左右运动扫描测量，并可以上下调焦以便适应不同高度面的测量。

产品应用：

器件引脚共面性检测仪广泛应用于晶元、芯片（DIP、SOP、QFP、QFN、BGA、LGA、PGA）等共面性检测，机械制造、电子、汽车、五金、塑料、模具等行业，可以对工件尺寸、形状和位置公差进行精密检测，从而完成自动拾取、自动分选、零件检测、外形测量、过程控制等任务。

测量原理及功能：

   共面性尺寸测量仪首先，通过影像测量模块识别产品外形边缘并建立测量基准坐标系，进而实现对目标产品基本平面尺寸的测量，包含对异形产品整体外形轮廓扫描（例如：密封圈）。其次，使用3D线扫激光传感器，对目标产品表面进行大面积整体区域扫描，采集出产品表面三维点云数据，并由软件处理生成工件表面3D趋势图形，再通过软件特定功能算法，提取3D趋势图中特定抽样特征群体位置的高度极大值，进而可以求出产品自身平面度、共面性、曲翘度等特性。测量软件支持通过二次开发对内部MES生产系统，实现将测量设备关键测量数据集中上传至MES服务器，方便客户在MES端集中筛选、查询，也更便于客户进行检测数据统一管理及历史追溯;配备手动扫描枪，扫描各种加工产品的信息，并录入MES.