光学原子力显微镜一体机
◆ 光学显微镜和原子力显微镜一体式设计，光电控制一体化；
◆ 同时具备光学和原子力显微镜成像功能，两者可同时扫描成像，互不影响；
◆ 同时具备光学二维测量和原子力显微镜三维测量功能；
◆ 采用了垂直光路设计，配合气液两用型探针架可同时在空气或液体中使用；
◆ 利用了高倍光学定位系统，实现探针和样品扫描区域精确定位；
◆ 简易的激光光斑调节方式，可通过光学CCD窗口实时观测及调节光斑；
◆ 单轴驱动样品自动垂直接近探针，准确定位扫描区域，使针尖垂直于样品扫描；
◆ 马达控制加压电陶瓷自动探测的智能进针方式，保护探针及样品；
◆ 配备气动式减震台，抗干扰能力强，不影响仪器使用操作；
◆ 集成扫描器硬件非线性校正用户编辑器，纳米表征和测量精度优于98%。
光学原子力显微镜一体机技术参数
◆ 原子力工作模式：接触、轻敲、F-Z力曲线测量、RMS-Z曲线测量、摩擦力/侧向力、振幅/相位、磁力和静电力，可选配液体模式
◆ 原子力扫描范围：XY向20um，Z向2um(可选配XY向50um，Z向5um)
◆ 样品尺寸：Φ≤90mm，H≤20mm
◆ 扫描分辨率：XY向0.2nm，Z向0.05nm
◆ 样品移动范围：0~20mm
◆ 光学物镜：5X，10X，20X，50X平场复消色差
◆ 光学目镜：10X
◆ CCD传感器：300万像素
◆ 显示屏：11.6寸平板显示器，带测量功能
◆ 光学调焦方式：电动调焦
◆ 扫描速率0.6Hz~4.34Hz，扫描角度0~360°
◆ 扫描控制：XY采用18-bit D/A，Z采用16-bit D/A
◆ 数据采样：14-bit A/D、双16-bit A/D多路同步采样
◆ 反馈方式：DSP数字反馈
◆ 反馈采样速率：64.0KHz
◆ 通信接口：USB2.0/3.0
◆ 运行环境：WindowsXP/7/8/10操作系统
