一体式原子力显微镜 

◆ 激光检测头和样品扫描台集成一体，稳定可靠；
◆ 精密激光及探针定位装置，更换探针及调节光斑简单方便；
◆ 单轴驱动样品自动垂直接近探针，准确定位扫描区域，使针尖垂直于样品扫描；
◆ 马达控制加压电陶瓷自动探测的智能进针方式，保护探针及样品；
◆ 高精度大范围的压电陶瓷扫描器，可根据不同精度和扫描范围要求选择；
◆ 10X复消色差物镜光学定位，无需调焦，实时观测

技术参数

◆ 基本工作模式：接触模式、轻敲模式、F-Z力曲线测量、RMS-Z曲线测量
◆ 选配工作模式：摩擦力/侧向力、振幅/相位、磁力和静电力
◆ 样品尺寸：Φ≤90mm，H≤20mm
◆ 扫描范围：XY向50um，Z向5um（可选配XY向110um，Z向10um）
◆ 扫描分辨率：XY向0.2nm，Z向0.05nm
◆ 样品移动范围：0~20mm
◆ 光学放大倍数10X，光学分辨率1um（可选配20X，光学分辨率0.8um）
◆ 扫描速率0.6Hz~4.34Hz，扫描角度0~360°
◆ 扫描控制：XY采用18-bit D/A，Z采用16-bit D/A
◆ 数据采样：14-bit A/D、双16-bit A/D多路同步采样
◆ 反馈方式：DSP数字反馈
◆ 反馈采样速率：64.0KHz
◆ 通信接口：USB2.0/3.0
◆ 运行环境：WindowsXP/7/8/10操作系统