Edwards真空泵是世界上蕞的真空泵之一，广泛用于半导体、平板显示器、LED 和太阳能电池制造，及工业、制药、化工、科研、加工、玻璃镀膜、食品包装等行业。

英国EDWARDS涡旋干式真空泵

 XDS 泵的设计创新性，采用轴承屏蔽将真空环境与所有形式的润滑剂隔离开来，使之不仅*干燥，而且*密封。该屏蔽还能保护轴承免受任何制程蒸汽的影响。
  可调气囊允许处理蒸汽，将应用范围拓展到以前许多不适用滚轴泵的情况。XDS 泵用于泵送可冷凝的蒸汽，可以使用为广泛的实验室湿化学应用所选择的各种材料。

特点及优势

轴承屏蔽

*清洁和干燥的真空

真空空间中没有轴承或油脂

无轴封，无轴承清洗

简单的单侧滚轴设计

更换顶封口仅需 20 分钟

无需特殊工具

气囊位置可选

无气囊泄漏

水蒸汽处理量大

所有泵产品均经外部机构检验，符合 EN61010、CSA C22.2 1010、UL 61010 标准

可以轻松地将泵整合到已认可的系统中，产品安全可靠

应用

分析仪器
电子扫描显微镜 - SEM
射束线和高能物理
涡轮分子前级泵
超高速离心机
覆层
低温学
脱气/硫化 - 油，环氧树脂
蒸馏/萃取/过滤
冷冻干燥
熔炉
凝胶体干燥
实验室工作台上真空
激光、气体回收和再循环
氦检漏仪
负载锁和传输腔
稀有气体再循环
稀有气体回收
冷冻制造
研发
旋转离心蒸发器
SEM/FIB（离子束维修）
溶剂回收
表面科学仪器

英国EDWARDS涡旋干式真空泵

nXDS20i-C干式涡旋真空泵

XDS10涡旋式真空泵

XDS5涡旋式真空泵

XDS100B涡旋式真空泵

技术参数