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薄膜纳米厚度测量仪自动化薄膜厚度分布图案系统依靠F54先进的光谱测量系统，可以很简单快速地获得大直径450毫米的样品薄膜的厚度分布图。采用r-θ极坐标移动平台，可以非常快速的定位所需测试的点并测试厚度，测试非常快速，大约每秒能测试两点。系统中预设了许多极坐标形、方形和线性的图形模式，也可以编辑自己需要的测试点。只需掌握基本电脑技术便可在几分钟内建立自己需要的图形模式。
可测样品膜层基本上所有光滑的。非金属的薄膜都可以测量。可测样品包括：
薄膜纳米厚度测量仪相关应用
半导体制造•光刻胶•氧化物/氮化物/SOI•晶圆研磨减薄/封装
液晶显示器•盒厚•聚酰亚胺•ITO
光学镀膜•硬涂层•抗反射涂层•滤光片
微电子•光刻胶•硅膜•氧化铝/氧化锌薄膜滤镜
氧化硅 | 氮化硅 | 类金刚石DLC |
光刻胶 | 聚合物 | 聚亚酰胺 |
多晶硅 | 非晶硅 | 硅 |
