日立5500M全自动型原子力显微镜

AFM5500M是操作性和测量精度大幅提高，配备4英寸自动马达台

的全自动型原子力显微镜。设备在悬臂更换，激光对中，测试参数设置等环节上提供全自动操作平台。新开发的高精度扫描器和低噪音3轴感应器使测量精度大幅提高。并且，通过SEM-AFM共享坐标样品台可轻松实现同一视野的相互观察分析。

特点

1. 自动化功能

• 高度集成自动化功能追求高效率检测

• 降低检测中的人为操作误差

 
 4英寸自动马达台

自动更换悬臂功能

2. 可靠性

排除机械原因造成的误差

大范围水平扫描

采用管型扫描器的原子力显微镜，针对扫描器圆弧运动所产生的曲面，通常通过软件校正方式获得平面数据。但是，用软件校正方式不能*消除扫描器圆弧运动的影响，图片上经常发生扭曲效果。
AFM5500M搭载了研发的水平扫描器，可实现不受圆弧运动影响的测试。 

样品 ：硅片上的非晶硅薄膜

高精角度测量

普通的原子力显微镜所采用的扫描器，在竖直伸缩的时候，会发生弯曲（crosstalk）。这是图像在水平方向产生形貌误差的直接原因。
AFM5500M中搭载的扫描器，在竖直方向上不会发生弯曲（crosstalk） ，可以得到水平方向没有扭曲影响的正确图像。

样品 : 太阳能电池(由于其晶体取向具有对称结构)

• * 使用AFM5100N（开环控制）时

3. 融合性

亲密融合其他检测分析方式

通过SEM－AFM的共享坐标样品台，可实现在同一视野快速的观察分析样品的表面形貌，结构，成分，物理特性等。

SEM-AFM在同一视野观察实例（样品：石墨烯/SiO₂）

上图是AFM5500M拍摄的形貌像（AFM像）和电位像（KFM像）分别和SEM图像叠加的应用数据。

•     通过分析AFM图像可以判断，SEM对比度表征石墨烯层的厚薄。

•     石墨烯层数不同导致表面电位（功函数）的反差。

•      SEM图像对比度不同，可以通过SPM的高精度3D形貌测量和物理特性分析找到其原因。

与其他显微镜以及分析仪器联用正在不断开发中。