Z1轴（传感器）

60mm

Z轴  （立柱）

500mm

测量精度

X轴距离测量精度

(L=X轴导轨移动距离,单位：mm)

±(1+L/300)μm

Z1轴测量精度

(H=Z1轴方向测量高度,单位：mm)

±(0.8+6H/100) μm

半径R

测量精度

R≤10mm

±1.0μm

10mm≤R≤25mm

±1.0+(R/12)μm

25mm≤R≤300mm

±1.0+(R/8)μm

300mm≤R

±1.0+(R/4)μm

X轴横臂

直线度

0.15μm/60mm

光栅分辨率

0.1μm

光栅产地

美国microe

Z1轴传感器

分辨率

0.05μm

传感器类型

数字传感器

产地

美国microe

移动方向

前/后 双方向

测力

0.5-6g

测针形状

双切面测针

测针长度

20mm

测杆长度

150mm

爬坡角度

上升77度 下降88度

速度

测量速度

0.02mm/s,0.05mm/s,0.1mm/s,

0.2m/s,0.5mm/s,1.0mm/s,

2.0mm/s,4.0mm/s(8个)

定位速度

0.02mm/s,0.05mm/s,0.2m/s,

0.5mm/s,1.0mm/s,2.0mm/s,

3.0mm/s,4.0mm/s(8个)

综合调整台

X轴水平倾斜调整范围：±30°

Y轴方向调整范围：±7.5mm

Z轴回转可调360度（带微调装置）

承载重量

120KG

图形放大

可任意缩小、放大

测量使用要求

工作压力

0.35～0.43Mpa

气源压力

0.45～0.80Mpa

气源流量

≥0.2 m³/min

电源

AC 220V±10%  50Hz

环境要求

温度：10～30℃

相对湿度：＜85%

气浮导轨系统

方立柱系统

传感器系统

进口光栅尺系统

调整工作台

水平调整系统

回转及角度调试系统

平口装夹系统

校正标准件一套

测针与测杆

Φ2*18mm  双刀面测针  2根

Φ5*120mm 测杆   1根

空气过滤系统

电器部分

电器控制系统

工业控制计算机

工控主板 NORCO950

工控底板 NORCO PBP-14P4

CPU E5500

金士顿 2G 三代

硬盘SEAGATE 500G

17″普屏液晶

基于win XP系统下MMD测量软件

HP喷墨打印机