INFICONCrystalSix®传感器

CrystalSix®INFICONCrystalSix®传感器

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2019-05-15 14:57:12
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瑞轩电子科技（上海）有限公司

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产品简介

INFICONCrystalSix®传感器
INFICON CrystalSix 晶体对于要求连续监控速率的长时间过程非常重要。CrystalSix 传感器在一个传感器头中含有 6 颗石英监控器晶体，为 OLED、MBE、太阳能、长时间光学镀膜或其他需要长时间腔室排气的过程提供安全性。

详细介绍

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晶体更换是自动完成的,不会中断您的过程,支持持续监控沉积速率 晶体索引通过气动机制完成 相比同类装置使用的昂贵的真空发热电机,这种气动马达可提供更好的晶体热稳定性 一个 8 英寸的水冷却管保持传感器头的热稳定性,并提供晶体位置的灵活性 与某些 INFICON 薄膜控制器结合使用时,传感器提供位置反馈,因此可针对特定的材料安排特定的位置

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