INFICONCrystal12®传感器

Crystal12®INFICONCrystal12®传感器

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2019-05-15 14:58:38
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瑞轩电子科技(上海)有限公司

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产品简介

INFICONCrystal12®传感器
INFICON晶体12传感器与INFICON IC 6薄膜沉积控制器结合使用时,可自动更换其晶体,而无需中断过程。晶体不稳定或失效时,IC6会立即向晶体12传感器旋转传送带发送信号,要求其立即将新晶体旋转到位,从而实现持续沉积速率监控。

详细介绍

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INFICONCrystal12®传感器  INFICONCrystal12®传感器  INFICONCrystal12®传感器​

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装有12颗晶体,可进行可靠的自动转换,从而大限度延长过程运行时间 易于拆卸的旋转传送带允许快速更换所有12颗晶体 晶体转换由空气驱动完成(竞争产品是使用生热电机),因而晶体温度非常稳定  易于拆卸的前沉积罩保护晶体和旋转传送带上不会积存材料,从而大限度减少拆卸整个传感器以进行维护的必要性 可选安装后套件允许用户根据公制硬件大小自行修改

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