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光刻固化无氧高温烘箱适用范围:应用于精密电子元件、光刻胶固化、电子陶瓷材料无尘烘干的特殊工艺要求,结合同类产品技术和我们长期从事烤箱的工作经验,设计而成。
光刻固化无氧高温烘箱产品型号:
型号 | MOLYY-120 | MOLYY-175 | MOLYY-288 | MOLYY-512 |
内尺寸(mm) | W600*H450*D450 | W700*H500*D500 | W800*H600*D600 | W800*H800*D800 |
层板数 | 二层 |
| 三层 |
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技术指标与基本配置:
1、使用温度:RT~400℃,温度上限:450℃;
2、单个炉膛有效尺寸:800×600×600mm(W×H×D);700*500*500mm(W×H×D)等等
3、炉膛腔数:2个,上下布置;
4、炉膛材料:SUS321镜面不锈钢;加热元件:不锈钢加热器;热偶:
5、空炉升温时间:1.5h;
6、空炉降温时间:300℃-50℃降温时间1.5-3.5小时(采用水冷翅片散热器);
7、温度和氧含量记录:进口无纸记录仪;
8、氧含量(配氧分析仪):
9、高温状态氧含量:≤10ppm+气源氧含量;
10、低温状态氧含量:≤20ppm+气源氧含量
11、控温稳定度:±1℃;
12、温度均匀度:±10℃(400℃平台);
13、事件输出:配置PLC,可实现多事件输出控制气氛、水等开关和报警;
14、控制:上下炉腔可单独控温、通气、报警保护;
15、控温仪表:日本岛电FP93温控仪;
16、控温段数:4×10段;控温点数:2点;
17、超温报警点数:2点;检测点数:2点;
报警保护:超温、断偶等声光报警保护;超温保护:独立感温式超温保护器;电机保护:电机过电流、水冷保护;表面温升:<30℃;
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