PIEZOSYSTEM  紧凑型纳米定位测量器

HS1H是一款紧凑型纳米定位器，可以组合成2轴甚至3轴纳米定位系统。它提供 10、30、50、70 或 100μm 的运动范围，

中心孔径为 33 mm，是光学显微镜应用的理想选择。由于采用直接驱动结构，它具有特别快的步进响应时间。

该纳米定位器是我们高速产品线的一部分（提供高功率控制器）。

PIEZOCONCEPT

运动范围 Z （μm） 100 - 200 - 300 - 500

速度标准

孔径 128.5 x 86.5 mm

“孔板尺寸”

PiezoCconcept 纳米定位系统HS1.10具有10µm的运动范围和0.01nm的分辨率，适用于需要较大运动范围和高分辨率的

场合。而纳米定位系统Z-STAGE.10则针对小范围内的微小运动，同样具有0.01nm的分辨率，适用于对精确位置控制要求较

高的情况。

PiezoCconcept硅传感器则提供了闭环控制，并具有皮米级别的分辨率，可以实现更精确的运动控制。这些部件通过转

接板连接到模拟控制器，实现对系统的全面控制和调节。

孔板尺寸为128.5 x 86.5毫米，

PiezoCconcept纳米定位系统HS1.10和Z-STAGE.10提供了不同范围的运动，分辨率达到了惊人的0.01纳米级别。这对于需要高精度定位的应用来说是至关重要的。硅传感器的闭环控制和皮米级别的分辨率进一步增强了系统的精确性。

PIEZOSYSTEM  紧凑型纳米定位测量器