一、真空机组组工作过程

　　①吸气：阳转子按逆时针方向旋转，阴螺杆按顺时针方向旋转。吸气过程即将开始时的转子位置。在这一时刻，这一对齿前端的型线*啮合，且即将与吸气口连接。随着转子开始转动，由于齿的一端逐渐脱离啮合而形成了齿间容积，这个齿间容积的扩大，在其内部形成了一定的真空，而此齿间容积又仅与吸气口连通，因此气体便在压差作用下流入其中。在随后的转子旋转过程中，阳转子齿不断从阴转子齿的齿槽中脱离出来，齿间容积不断扩大，并与吸气孔口保持连通。随着转子的旋转，齿间容积不会再增加，在此位置与吸气孔口断开，吸气过程结束。

　　②压缩：阳转子沿顺时针方向旋转，阴转于沿逆时针方向旋转。此时气体被转子齿和机壳包围在一个封闭的空间中，齿间容积由于转于齿的啮合就要开始减小。随着转子的旋转，齿间容积由于转子齿的啮合而不断减小。被密封在齿间容积中的气体被占据体积也随之减小，导致压力升高，从而实现气体的压缩过程。

　　③排气：齿间容积与排气孔口连通后，即开始排气过程。随着齿间容积的不断缩小，具有排气压力的气体逐渐通过排气孔口被排出，封闭的齿间容积的体积变为零。

　　二、真空机组性能特点

　　1、工作腔内无润滑油存在，避免了因润滑油乳化、变质而出现的运行故障，提离了系统的稳定性，可获得清洁真空。工作腔及螺旋转子表面有防腐涂层，可适应恶劣的工况。