转速/功率

250-9000 转/分 /40W

转速稳定性

转速稳定性：<±1% 旋涂均匀性：<1%

旋涂均匀性（*性）

<1%（片内）；<1%（片间）

基片尺寸

Φ5-Φ100mm圆片，大100mm×100mm方片

显示/程序控制

全触摸屏操作，快速启动，人性化界面

旋涂时间

6步工艺调速设计，单步工艺 0-1800s，可根据用户需求增加调节时间

适应材料/工艺支持

适合硅片、玻璃、石英、金属、GaAs，GaN，InP等各种材料，工艺服务

特殊夹具定制

20年特殊夹具设计经验，*匹配超薄、异形、脆性易碎样品

尺寸

整机尺寸（mm）：280×210×248 裸机尺寸：280×210×155

泵参数

型号：KW-550A/T ；抽速：>1.5 升/秒；功率：300W

噪音：55dB； 电压：~220V/50Hz； 低真空度：-700mmHg

重量（Kg）：7.3 ；外形尺寸（mm3）：250×130×225

配置

主机+真空泵（含消音器）+基片三个（5-45毫米的圆形基片任意选择）

质量保证

质保一年