产品名称:紫外臭氧清洗机(UVO) 生产厂家:英国Ossila公司 产品型号:E511
1.用途:去除大多数无机基材(比如石英,硅片,金,镍,铝,砷化镓,氧化铝等)上的有机污染物。
2.工作条件
2.1.工作环境温度:5-35℃;
2.2.工作环境湿度:≤70%;
2.3.电源:220/240V、50/60HZ。
3.技术要求
3.1.紫外灯类型:石英低压汞蒸汽格栅灯;
3.2.灯管寿命大于5000小时;
3.3.高强度UV灯源:主要波长185nm和254nm;
3.4.UV灯管尺寸:100X100mm;
3.5.UV灯电源:4000V,30mA;
3.6.典型强度:28-32Mw/cm2 @253.7nm(1cm距离)
3.7.数字定时,定时范围:0-60分钟,屏幕柱状显示运行时间与剩余时间;
3.8.样品台尺寸120x120mm;
3.9.大处理样品高14mm;
3.10.抽屉式样品台;
3.11.样品台开关自动安全保护,门打开UV自动关闭,防止对人身伤害;
3.12.多重安全保护:清洗室温度超过50℃ (托盘温度达到55℃)时系统会报警;温度达到65℃时,系统报警并自动关机;温度传感器读数错误,系统报警提示设备重启。
3.13.大样品尺寸:100x100mm;
3.14.样品清洗无需溶剂;
3.15.总尺寸:长204mm、高227mm、宽300mm。
4.配置
4.1.主机 1台;
4.2.电源线 1个;
4.3.说明书 1本。