PicoFemto手动探针台系统,物理实验室探针台,可定制手动探针台系统，整套PicoFemto手动探针台系统包配置如下：

探针台主体

- 可测试晶圆尺寸：4英寸

- 样品台行程：100mm*100mm

- 移动分辨率：~0.1mm

- 样品台旋转范围：360度

- 超低漏电底栅接口，标准Triax输出

- 可选400度高温样品台

显微镜

- 舜宇三目连续变倍体视镜，LED环形照明

- 光学变倍总倍率45倍，物镜0.7~4.5倍连续变倍

- 可选配高清摄像头，总放大倍率约700倍

针座

- 磁性吸附底座，XYZ移动范围：12mm

- 移动分辨率2um

- 标配4个，多可装6个

探针线缆

- 超低漏电探针设计，漏电流低于100fA

- Triax标准接口输出，Keithley原装低噪声Triax线缆

探针

- 超低漏电探针设计，针尖直径标配10um，小1um

尺寸和自重

- 尺寸：450mmW*450mmD*500mmH

- 自重：约30Kg