PicoFemto真空低温探针台系统及指标描述：

1、总体规格

尺寸：650mmW*650mmD*1500mmH（含支架）

自重：约80Kg

2、结构与特点

（1）真空腔体：真空度优于6×10-4Pa。降温后优于6×10-5Pa。留有2个用户法兰接口（可接入气体或者额外的电缆）；

（2）探针控制：标配4个探针臂。调节范围50mm*50mm*30mm，调节精度优于10um。每个探针臂配备一根Triax三同轴低漏电线缆及探针。样品台底座配备额外一根Triax三同轴低漏电线缆；

（3）显微镜模块：连续变倍单筒显微镜，光学放大倍率：1.4X~9X（使用1X附加物镜时），视频放大倍率约700倍。可选2X附加物镜。分辨率优于2um。全高清数字摄像头，带同轴照明和环形照明，带机械调焦和光学调焦；

（4）变温样品台：50mm直径。变温范围：80K~400K。控温稳定性优于±0.02K；

（5）可选配接入光纤，可将一根或几根电学探针替换为光纤；

（6）系统直流漏电低于1pA。

3、含进口分子泵机组、全量程真空规和智能温控仪。

4、设备照片（因配置不同，照片仅供参考）

PicoFemto真空低温探针台系统配置

- 探针台真空腔主体（50mm，4探针臂，含流量调节杜瓦）
- 铁制抗震支架

- 进口分子泵机组（Edwards T-Station 85，含全量程真空规、隔震块）

- 视频显微镜（含LED光源、调节支架、高清摄像头与高清显示器）

- Triax低噪声线缆

- 10um探针

- 智能温控仪PicoFemto SmartT

- 备用各规格螺丝（套）

- 安装与现场培训