爱德华Edwards XDS干式涡旋泵，随着干式清洁真空的应用需求不断扩大，Edwards XDS 涡旋泵已成为涡旋干式泵行业标准，证明是一项适用于各种应用和流程的耐用且清洁的真空泵解决方案。

Edwards XDS35i 泵具有创新的轴承罩，可将真空环境与所有形式的润滑剂隔离开来，创造了一个*静态密封和*无油清洁的真空环境。针对稀有气体再循环和气体回收等应用，Edwards XDS35iNGB 选配型移除了气镇。

C 型是改进型，更适用于水蒸气以及某些具有腐蚀性物质的应用。这个耐化学腐蚀的版本是基于Chemraz内阀以及不锈钢材料的出气口。

XDS46i 与 XDS35i 有许多共同特性，但前者的峰值抽速达到 40m3h-1。该泵针对大抽速 (入口压力介于 1 mbar 至10 mbar 之间) 进行了优化，使其*适用于涡轮分子泵的前级泵。

XDS35i增强版（XDS35iE）具有双入口和旁通阀专li技术，使其能够处理标准XDS35i泵工作范围以外的应用，例如防止在较高操作压力和较大吞吐量时气体在涡旋装置中的过度压缩。XDS35iE能够在不受真空室大小或循环抽气频率限制的情况下工作。这给我们的客户提供了更多从XDS涡旋干泵技术中受益的机会。

爱德华Edwards XDS干式涡旋泵产品特点：

* 轴承罩：可确保将制程气体与轴承润滑剂相分离，以确保清洁的真空环境，并避免制程气体中的污染物进入润滑剂中，从而延长轴承的使用寿命。

* 变频器驱动：范围内泵性能*相同、泵过载保护和远程启动/停止功能特性。

* 高流量气镇特性：可实现以zui高 240 g/hr 的速度抽取蒸汽(包括水蒸汽)。

* 轴向气隙电机：减小了整体泵尺寸，并且降低了功率和噪声。

* 简单的单端双涡旋设计：可实现在几分钟内完成维护工作，从而降低运行成本并尽可能延长正常运行时间。

*  双入口和旁通阀技术：XDS35iE适用于大腔体的抽气，防止气体过度压缩，提高泵的效率和抽速，延长轴承的使用寿命。