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透射电镜原位MEMS液体电化学测量系统，采用全新的O圈辅助密封设计，更易封装液体。实验中，样品被密封在超薄氮化硅薄膜覆盖的液体池内，池内可以承载一个大气压。芯片电极联通外接电路，从而在电镜中搭建一个液体-电化学测试环境。
性能指标：
● 兼容TEM真空度；
● 液体池间隔层厚度小100 nm；
● 液体池内可载入气体或液体，池内可承载1个大气压，池外满足电镜真空要求；
● 电压输出大±200 V，小分辨率±100 nV；
● 电流测量大±1.5 A，小分辨率±100 fA；
● 恒压或者恒流模式。
● 自动电流-电压（I-V）测量、电流-时间（I-t）测量，自动保存。
透射电镜原位MEMS液体电化学测量系统
