透射电镜原位MEMS低温电学测量系统-样品杆，透射电镜原位MEMS低温电学测量系统是在标配MEMS芯片样品杆上集成低温控制模块，实现低温电学测量或全温区测量功能。

性能指标
 

透射电子显微镜指标：

● 兼容型号电镜及极靴；

● 单倾可选高倾角版本；

● 可选双倾版本，β角倾转±25°（同时受限于极靴）；

● 测量电极数可选。

电学测量指标：

● 包含一个电流电压测试单元；

● 电压输出大±200 V，小±100 nV；

● 电流测量大±1.5 A，小100 fA；

● 恒压或者恒流模式；

● 自动电流-电压（I-V）测量、电流-时间（I-t）测量，自动保存。

透射电镜原位MEMS低温电学测量系统-样品杆

低温指标：

● 兼容MEMS加热及电学芯片；

● 全温区测量，温度范围：85 K- 380 K；

● 控温稳定性：优于±0.1 K；

● 温度连续可控。