CX 200-扫描电子显微镜_电子显微镜-深圳市达瑞博电子有限公司手机版

产品简介

Applied Materials CX 200 扫描电子显微镜
设备概述
型号: SEMVision CX 200
制造商: Applied Materials
应用领域: 半导体制造环境
主要特性
光学系统: 0.2 NA 光学系统
高分辨率彩色相机
电动龙门
CO2激光准直光学设计
低噪声冷却CCD相机
可调LED光源
多测量模式

详细介绍

Applied Materials CX 200 扫描电子显微镜

设备概述

型号: SEMVision CX 200

制造商: Applied Materials

应用领域: 半导体制造环境

主要特性

光学系统: 0.2 NA 光学系统

高分辨率彩色相机

电动龙门

CO2激光准直光学设计

低噪声冷却CCD相机

可调LED光源

多测量模式

技术优势

改进的性能和产量监控

支持先进集成电路设计的制造

检测微观尺度的缺陷和非均匀区域

配置选项

自动化掩模书写功能

自动化检查技术

检测能力

单晶圆检测速度: ≤90 s (在流水线模式下)

单晶圆缺陷吞吐量: ≤500 DPH (可选600 DPH)

单晶圆吞吐量: ≥8 晶圆/小时 (50个缺陷/晶圆)

清洁等级与API参数

清洁等级: Class 1 可接受外界条件影响的结霜对机组性能的影响

API参数: +/-1.5um API (Automatic Process Control)

Applied Materials CX 200扫描电子显微镜是一款高性能、高精度的掩模和晶圆检测设备，凭借其先进的光学系统、强大的图像处理能力和高效的自动化功能，能够满足现代半导体生产中对缺陷检测的严格要求。