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RUDOLPH S3000A 椭圆偏光仪
Rudolph S3000A 椭圆偏光仪概述
先进的光谱椭圆仪
高性能,精确度高
多通道双波长光谱椭圆仪
波长范围广(118-8000nm)
材料范围广泛(有机和无机半导体、薄膜等)
可测量薄膜厚度和光学性能
重复性和可靠性
自校准光机、光纤激光二极管源和高分辨率彩色CCD检测器
基于Windows操作系统,先进流程控制软件
自动化测量薄膜的厚度、光学常数、应力和折射率
半导体行业生产用透明度计量工具
晶圆测试和计量设备,适用于半导体和高级封装生产线
无损光学成像技术
X射线探测技术,测量粒子/缺陷密度、尺寸和材料特性
晶圆尺寸为12英寸
设计用于300mm fab范围内的应用
RUDOLPH S3000A是一款高性能的椭圆偏光仪,广泛应用于薄膜和表面的无损测量。该设备具有以下主要特点:
高精度与高重复性:RUDOLPH S3000A能够提供精确、可靠的测量结果,适用于科学和工业应用。
多通道双波长设计:它是一种先进的多通道、双波长光谱椭圆偏光仪,可以同时对多达四个样品进行测量,确保了结果的可重复性和可靠性。
宽波长范围:该设备支持从118到8000纳米的广泛波长范围,能够测量有机和无机半导体、薄膜、光学层和基板等多种材料。
温度控制与数据收集:配备温度控制系统和数据收集功能,使得用户可以方便地进行旋转分析和数据分析。
自校准光机与高分辨率检测器:配备自校准光机和高分辨率彩色CCD检测器,确保了测量的准确性和长期稳定性。
用户友好的软件工具:基于Windows的操作系统和先进的流程控制软件,使操作更加简便,并且便于定制和分析。
晶片尺寸兼容性:可以测量最大150毫米的晶片,样本厚度范围为1毫米至4毫米,还可以通过选配模块提升性能。
应用领域:该设备不仅适用于薄膜厚度和光学常数的测量,还能够测量应力和折射率等物理特性,适用于各种科学和工业应用。
总之,RUDOLPH S3000A是一款功能强大且用途广泛的椭圆偏光仪,适合需要高精度和高重复性的科学研究和工业生产环境。