KLA-Tencor Surfscan SP2 颗粒检测仪

KLA-Tencor Surfscan SP2是一款先进的掩模和晶圆检测设备，广泛应用于集成电路(IC)制造过程中的缺陷检测与分类。该系统采用先进的光学、电学和机械组件，能够检测并纠正各种类型的掩模和晶圆上的缺陷。

Surfscan SP2使用专li技术和高精度成像技术，能够在微观水平上捕捉细节，并与参考模型进行比较，从而实现对掩模和晶片表面制造缺陷的可靠检测和识别。其主要功能包括：

1. **高分辨率成像**：Surfscan SP2可以提供优于扫描电子显微镜(SEM)模式的分辨率和精度，使其在缺陷检测方面具有显著优势。

2. **自动化解决方案**：该系统设计为自动化操作，能够提高生产效率，每小时检查更多的晶圆或在不损失吞吐量的情况下使用更高的灵敏度设置。

3. **多种检测模式**：支持斜入射和平行入射分析，能够计算出匹配SP2空间带宽的“频率匹配”粗糙度。

4. **兼容性与维护**：Surfscan SP2的部件如Z轴电机等都是高质量标准生产的，确保了系统的稳定性和可靠性。

此外，KLA-Tencor公司还推出了升级版的Surfscan SP2XP，进一步提升了系统的性能和吞吐量，使工厂能够更高效地进行晶圆检测。

总之，KLA-Tencor Surfscan SP2是一种高性能的晶圆检测设备，通过先进的成像技术和自动化操作，为集成电路制造过程提供了可靠的缺陷检测和分类手段。