PDC200/210/510-日本雅马拓等离子清洗机 PDC200/210/510_等离子装置-柜谷科技发展（上海）有限公司手机版

产品简介

PDC200/210/510等离子清洗机
高频输出 300W（PDC200型）/500W（PDC210/510型）,电极尺寸 250×170mm（PDC200/21型）/410×170mm（PDC510型）适用于研究开发的小型等离子清洗机。
使用等离子的表面处理装置。着重于“使用简单”的台式高性能型号，调取数据简单，以电子材料为中心，可对应多种用途。

详细介绍

PDC200/210/510等离子清洗机

高频输出 300W（PDC200型）/500W（PDC210/510型）,电极尺寸 250×170mm（PDC200/210型）/410×170mm（PDC510型）适用于研究开发的小型等离子清洗机。

使用等离子的表面处理装置。着重于“使用简单”的台式高性能型号，调取数据简单，以电子材料为中心，可对应多种用途。

PDC200/210/510等离子清洗机用途

▪CSP、BGA、COB基板的等离子清洗

▪去除有机膜和金属氧化膜

▪印刷电路基板的干式清洗

▪界面活性处理

▪LED封装

PDC200/210/510等离子清洗机特征

▪DP模式（PDC510标配·PDC200/210选配）

▪RIE模式

▪均匀性高的电极构造

▪操作简单的触摸屏控制器

PDC200/210/510等离子清洗机规格

型号	PDC200	PDC210	PDC510
等离子模式	RIE（DP模式选配）		RIE/DP
电极构造	平行平板（固定）
高频输出	Max300W	Max500W
频率	13.56MHz
控制·显示	液晶触摸屏
反应室尺寸	W400×D250×H150mm		W500×D300×H200mm
电极尺寸	W250×D170mm		W400×D200mm
反应室材质	铝
反应气体	2系统（Ar、O2）
填充气体	N2或干燥空气
反应气体流量控制	流量计	聚合控制器
真空泵	另行选配	油泵（约345L/分）标配	油泵（约500L/分）标配
气体导入口	反应气体2个、填充气体1个
外形尺寸	W540×D600×H600mm	W540×D600×H600mm	W700×D700×H1285mm
重量	约100kg	约105kg	约180kg
电源	单相 AC100V 10A	三相AC200V 6A	三相AC200V 8A

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