日本雅马拓等离子清洗机V1000/1000X/1000XS

V1000/1000X/1000XS日本雅马拓等离子清洗机V1000/1000X/1000XS

参考价: 面议

具体成交价以合同协议为准
2020-04-28 13:59:23
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产地类别:进口；应用领域:医疗卫生,食品,化工,制药；
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产地类别
进口
应用领域
医疗卫生,食品,化工,制药
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柜谷科技发展（上海）有限公司

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产品简介

日本雅马拓等离子清洗机 V1000/1000X/1000XS
13.56MHz高频输出的等离子清洗机，搭载RIE·DP双模式
使用等离子的表面处理装置。着重于“使用简单”的台式 高性能型号，调取数据简单，以电子材料为中心，可对应 多种用途。
特征

详细介绍

日本雅马拓等离子清洗机 V1000/1000X/1000XS 

13.56MHz高频输出的等离子清洗机，搭载RIE·DP双模式
使用等离子的表面处理装置。着重于“使用简单”的台式 高性能型号，调取数据简单，以电子材料为中心，可对应 多种用途。
特征
●  可变更电极构造提高等离子效果。
●  搭载高精度适配器，高性能RF 电源。
●  可根据需求规格提供定制。

用途
●  硅晶圆的灰化及蚀刻
●  基板表面污垢处理
●  IC/LED封装、BGA/CSP基板处理
●  半导体相关部品的电子材料的干式清洗
●  自然氧化膜·有机物去除
●  界面活性处理
●  表面污染物去除

日本雅马拓等离子清洗机 V1000/1000X/1000XS 内槽

日本雅马拓等离子清洗机 V1000/1000X/1000XS 规格
 

型号V1000V1000XV1000XS
等离子模式DP/RIE
高频电源13.56MHz
输出功率Max1000WMax1000 & 1500W
有效电极尺寸W280×D280mmW300×D300mmW400×D375mm
电极平行平板2段电极（独立）平板（多目的）
反应气体聚合控制器2系统（填充气路另行安装）
真空泵（标配）约1000L/min约1500L/min1000 & 1500L/min
安全装置门检测开关、联锁机构、紧急停止开关、温度过升防止器等


管路连接图

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