自动匀胶显影机

AC300-S-CTM自动匀胶显影机

参考价: 面议

具体成交价以合同协议为准
2024-11-06 18:54:31
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江苏雷博科学仪器有限公司

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产品简介

半导体显影机是用于制造半导体器件的关键设备。它的工作原理是在半导体制造过程中,使用化学显影液对芯片表面进行处理,将不需要的材料或图形去除,从而形成所需的电路结构。

详细介绍

  产品特点:
 
  高级伺服电机驱动,高精度、高重复性
 
  工业级设计,PLC控制,7寸全彩触屏操作
 
  HDPE内腔,不锈钢外壳,耐溶剂PC透明盖
 
  可添加背部清洗和去边胶功能,满足工业用途
 
  可添加防溅罩式清洗和显影功能,满足定制需要
 
  适合处理超大或超重底物,最大处理12寸圆形底物
 
  更大尺寸和重型底物以及内腔抽真空等要求均可定制
  半导体显影机
  产品参数:
 
  转速范围 :20-5000rpm(空载)
 
  加速度可调范围:20-10000rpm/s(空载)
 
  单步时长:3000s
 
  时间分辨率:0.1s
 
  可编辑100组100步程序,更多可扩展
 
  外型尺寸:730mm(W)*750mm(D)*570mm(H)
 
  包装方式:木箱包装
 
  注:
 
  可定制经济型手动摆臂功能模块。
 
  可定制左右双功能模块组合,如左去边功能模块,右显影功能模块。
 
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