桌面显影机优势
1.全封闭式显影，避免雾气扩散到外部，污染环境。
2.外壳喷塑，耐腐蚀，易清洗。
3.内腔镀特氟龙，光滑，耐腐蚀，易清洗。
4.内置真空过滤器，防止液体吸入真空泵。
5.真空压力可调，压力值实时显示。
6.液体流量可调，回吸可调。
桌面显影机参数
支持wafer尺寸：碎片至200mm(8"圆晶)
1.转速分辨率：±1 RPM
2.旋涂速度：20-3000rpm(空载)
3.旋涂加速度：10-10,000rpm/sec(空载)
4.工艺时间设定： 0-3,000sec/step，时间设置精度： 0.1sec
5.该机型适用于标准3路显影机(1路洗衣液，1路纯水，1路氮气)
6.单步工艺及多步工艺可选，内置100组可编辑程序
7.可根据客户需求定制四管路显影机或更大基片的显影机。
设备配有一路显影和一路水、一路气吹功能，并且喷嘴位置可程控移动，实现自动显影和清洗作业。
