小型真空等离子清洗机是一款专门针对科研院所研制的小批量样品表面处理设备，利用真空环境产生等离子体去处理样品的表面，达到常规清洗方法无法达到的效果。具有设备小巧，真空腔容量大，适用于实验室环境；清洗过程不会产生高温，避免产品产生热变形；可以处理各种各样的材质，如金属、半导体、氧化物或高分子材料，应用广泛。
小型真空等离子清洗机产品参数
1、腔体材质：不锈钢
2、供电电源：AC220V
3、射频电源功率：0-500W 可调
4、射频频率：25KHz
5、真空度：≤100Pa
6、气体路数：单路
7、气体流量：0.1-1l/min(可调)
8、清洗时间：0—999秒连续可调
9、内腔尺寸：147mm*145mm
10、外形尺寸：452mm*340mm*225mm
11、重量：≈18KG
