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PLUTO-F桌面式等离子体材料表面处理系统

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武汉赛斯特精密仪器有限公司

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产品简介

PLUTO-F 型等离子体表面处理系统是一款功能强大的桌面型表面等离
子体设备，非常适合于高校，科学研究所和企业实验室，或者小批量生产；
需要低成本运作；高效处理的企业。具备等离子设备几乎所有的功能，具有较大的腔体尺寸和灵活的电极
配置方式。可用于更大的型的应用，包括生产水平的应用.

外部尺寸641*533*451mm （1341*533*451mm可选底

座）

真空腔尺寸材质6061-T6 铝合金241mm*280mm*201mm

电极尺寸200mm *200mm，多控自适应平板电极

等离子体发

生器

频率：13.56MHz；自动阻抗匹配电源

功率0-200W 连续可调，精度 1W 自适应功率匹配

0-500W连续可调，精度 1W自动阻抗匹配电源

0-750W 连续可调，精度 1W自动阻抗匹配电源

真空计热电偶真空计0-100KPa

供气2 路气体，精密针阀控制

控制方式4.3 寸触摸屏，多级应用菜单，操控简易快捷

选配件飞越VRD 油泵/莱宝/安捷伦DS 系列干泵

电源220V，10A

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