世伟洛克VAR ALD原子沉积隔膜阀 

 ALD20 UHP 阀门是世伟洛克 ALD 产品系列的新成员。正在申请利的设计允许利用具有挑战性的低蒸汽压前体。ALD20 采用超高纯波纹管，因此与其他 ALD 阀相比，可促进清洁操作并具有更高的流量。
此外，ALD20 阀可以*热浸在气箱中，并可以从 50°F (10°C) 加热到 392°F (200°C)。
规格
工作压力 真空 20 psig (1.4 bar) 
爆裂压力 >3200 psig (220 bar) 
执行压力 70 90 psig（4.8 6.2 bar） 
温度 50° 392°F（10° 200°C） 
流量系数 (Cv) 1.2 (MSM) 或 1.7（直通型） 
阀体材料 316L VIM-VAR 或合金 22 
波纹管材料 合金 22（5 μin.Ra 表面粗糙度） 
端接 

世伟洛克VAR ALD原子沉积隔膜阀 
类型（尺寸） 内螺纹 VCR 接头 (1/2 in.) 
可旋转外螺纹 VCR 接头 (1/2 in.) 
卡套管对焊，长 0.50 in. (1/2 in. x 0.049 in.) 
模块化表面安装高流量 C 型密封 (1.5 in.) 

安全的产品选择： 请务必查看全部产品目录内容以保证系统设计者和用户进行安全的产品选择。选择产品时，必须考虑总体系统设计以保证获得安全的、*的性能。功能、材料兼容性、充分的额定值、正确的安装、使用和维护是系统设计者和用户的重要责任。