波兰 PREVAC 同步加速器分析系统 高压 真空 XPS 系统

波兰 PREVAC 同步加速器分析系统 高压 真空 XPS 系统

该多功能系统专为对材料表面进行精确多样的分析而设计。

规格

系统由固定真空室的主机架组成；分析室、制备室、负载锁定室和线性转移。所有框架都是独立的，并配有带螺钉锁定装置的脚轮，用于地板定位。框架可以根据需要断开连接并移动到实验室内的其他位置。每个框架还配备了自己的烘烤帐篷。该系统非常通用，未来可以进一步扩展以添加例如切割室、存储室和/或 PLD 室。

该系统有一个独立的独立式控制器柜，用于真空和仪表设备。

UHV 系统包括各种互锁涡轮分子泵组、离子泵和钛升华泵。泵送系统、仪表和阀门（安全和通风）全由微处理器和软件控制，并带有完整的安全联锁装置。

各个腔室都通过光纤出口进行内部照明，以监视腔室之间的样品转移/支架机制。

该系统配备有蒸馏水冷却器。

提供各种样品架以提供广泛的加热和冷却能力。

AES ARPES EA15 EA15-HP50 IS 40C1 IS 40E1 ISS Kerr效应 MBE MBE Chamber MBE腔室 Prevac PREVAC 离子源 TPD/TDS UHV特高压多室分析系统 UHV表面科学分析系统 UPS UVS 40A2 XPS（ESCA） X 射线源 光电子能谱仪 光电子能谱测量仪 半球分析仪 半球能量分析仪 原子力显微镜 原子力显微镜分析 原子力显微镜分析系统 多层薄膜的原位实时磁光Kerr效应 无油真空泵 残留气体分析仪 真空光谱仪 真空室 真空油泵 真空泵 真空泵系统 真空测控装置 真空能量分析 真空能量分析光谱 真空腔 真空表面分析系统 离子源 表面分析系统 超薄磁性薄膜 高压光发射光谱特高压系统 高真空泵