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丹麦 SENS4 A/S ATM宽量程真空传感器
VPM-7 SmartPirani™ ATM传感器专为半导体负载锁紧、精密压力控制和其他真空应用而设计，在这些应用中，相对于大气环境压力的精确压力测量非常重要。
9 个倍程的超宽测量范围
精密大气开关功能
用于控制的可靠固态继电器
气压环境压力测量
0-10 VDC 可编程电压输出，支持其他供应商仿真
数字 RS-232 或 RS-485 接口
StableZero™ 漂移补偿
MKS 901P 的直接替代品
用于诊断的真空温度传感器
RGB LED彩色压力指示器
可选耐腐蚀版本
丹麦 SENS4 A/S ATM宽量程真空传感器
与传统的负载锁传感器和其他负载锁传感器解决方案相比，它具有更宽的测量范围、更高的精度和更快的测量周期，具有性能。
SmartPirani ATM基于一项正在申请技术，该技术通过将皮拉尼热损失真空计的热导率测量范围延长1-3个十年，建立了新的标准。
VPM-7 是一款真正的多传感器，具有四个压力输出，结合了气压环境传感器、宽范围热损失皮拉尼传感器、绝对隔膜传感器和相对于大气压的信号，以优化现代负载锁真空室的压力控制。隔膜传感器读数与气体无关，绝对压力为 2 至 1333 mbar。
负载锁是一种真空室，用于将半导体晶圆等设备从环境气压加载到真空处理室。负载锁通常在大气气压环境压力和将晶圆转移到加工真空室所需的足够真空压力之间循环。精确控制负载锁真空室中的压力对于防止环境空气和颗粒污染负载锁和晶圆至关重要。
用户可以对传感器设置和参数进行编程，以控制真空系统和应用参数。
数字串行接口支持诊断、预测性维护、维修、校准、设定值配置、模拟输出缩放和实时真空压力测量值的采集，以便在屏幕上显示。串行USB编程器与免费、直观的配置软件相结合，是用于传感器编程、实时测量和诊断的即插即用解决方案。
用户可以通过 S4-Connect™ 或 RS-232/RS-485 接口将模拟输出配置为 0-10 VDC 范围内的任何任意缩放。模拟输出缩放功能可在有限的压力范围内放大信号。此外，还提供多种模拟输出缩放选项，以模拟其他供应商的真空计和传感器。可选的辅助模拟输出可对全范围真空压力和相对于大气压的压力信号进行外部监测。
SmartPirani™ ATM引入了一种新方法，通过多色LED直观地确定测量的压力，该LED在整个压力范围内平滑地改变颜色。这种可选的视觉功能是集成显示器的低成本替代方案，可提供测量压力的粗略视觉指示。如果真空系统加压超过环境压力，它还会提供清晰的视觉警告。
为了优化负载锁定性能，需要准确可靠地控制多个压力参数。SmartPirani™ ATM传感器具有三个独立的固态开关继电器，可配置为控制排气、传输室闸阀和负载锁门。
与传统的机电继电器相比，固态继电器具有可靠性和更快的开关时间，同时提供无电弧触点，并且在开关触点时不会产生EMI（电磁干扰）。SmartPirani™ ATM 控制继电器经久耐用，并通过了 UL 认证、CSA 认证和 EN/IEC 60950-1 认证，在用于控制关键真空过程和高循环负载锁定应用时具有最大的信心。
