美国mks  I系列 IP66 级质量流量控制器

I 系列 IE50A 质量流量控制器是一种通用的弹性体密封 MFC，非常适合在对液体或灰尘进入至关重要的恶劣环境中使用。它能够从 5 到 50，000 sccm 的满量程范围，N2等效。它集成了最新的数字流量控制电子设备以及经过验证的热传感器和机械设计。

流速从 50 到 50，0000 sccm

密封和阀塞选项，包括氟橡胶、丁腈橡胶、氯丁橡胶或卡雷斯

小于 750 毫秒的建立时间

标准闭合电导泄漏率小于满量程的0.1%

I 系列 IM50A 质量流量控制器是一种通用的金属密封仪器，具有 IP66 等级外壳，能够承受 5 至 50，000 sccm 的满量程范围，相当于 N2。它们结合了最新的数字流量控制电子设备以及经过验证的热传感器和机械设计。

流速从 50 到 50，000 sccm

金属密封MFC带特氟龙阀塞，MFM全金属

小于 750 毫秒的建立时间

标准闭合电导泄漏率小于满量程的1.0%

I 系列 IM100A 是一款通用的金属密封 MFC，具有 IP66 级外壳，非常适合对液体或灰尘进入至关重要的恶劣环境。它能够实现 50 至 100 slm 的满量程范围（相当于 N2）

流速从 50 到 100 slm

金属密封MFC，带特氟龙阀塞和全金属主体

小于 750 毫秒的建立时间

美国mks  I系列 IP66 级质量流量控制器

I 系列 IE250A 质量流量控制器是弹性体密封的多气体/多量程 MFC，具有 IP66 级外壳，设计用于恶劣的工业环境，在这些环境中，对液体和灰尘的抵抗力至关重要。IE250A 能够实现 100 至 250 slm 的满量程范围（相当于 N2）。IE250 提供模拟 I/O 或数字 I/O，利用最新的控制算法对设定点进行快速、可重复的响应。

流速从 100 到 250 slm

密封和阀塞选项，包括氟橡胶、丁腈橡胶、氯丁橡胶或三元乙丙橡胶

1 至 2 秒稳定时间

标准闭合电导泄漏率小于满量程的1.0%

I 系列 IE500A 质量流量控制器是弹性体密封的多气体/多量程 MFC，具有 IP66 级外壳，设计用于恶劣的工业环境，在这些环境中，对液体和灰尘的抵抗力至关重要。IE500A 能够承受从 250 slm 到 500 slm（相当于 N2）的满量程范围。控制阀设计实现了这种广泛的流量范围，该设计可快速响应设定点变化，同时保持远低于其他高流量质量流量控制器的闭合电导泄漏率。

流量从 250 到 500 slm

密封和阀塞选项，包括氟橡胶、丁腈橡胶、氯丁橡胶或三元乙丙橡胶

模拟、RS485、Profibus™ 或 DeviceNet™ I/O

标准闭合电导泄漏率小于满量程的1.0%

1 至 2 秒稳定时间

I 系列 IE1000A 质量流量控制器是弹性体密封的多气体/多量程 MFC，具有 IP66 级外壳，设计用于恶劣的工业环境，在这些环境中，对液体和灰尘的抵抗力至关重要。IE1000A 能够承受 501 至 1000 slm（相当于 N2）的满量程范围。控制阀设计实现了这种广泛的流量范围，该设计可快速响应设定点变化，同时保持远低于其他高流量质量流量控制器的闭合电导泄漏率。

流量从 500 到 1000 slm

密封和阀塞选项，包括氟橡胶、丁腈橡胶、氯丁橡胶或三元乙丙橡胶

模拟、RS485、Profibus™ 或 DeviceNet™ I/O

标准闭合电导泄漏率小于满量程的1.0%

1 至 2 秒稳定时间