美国mks GM50A和GM51A数控质量流量控制器

GM50A 和 GM51A 数控质量流量控制器提供模拟或 RS485、Profibus™、EtherCAT、PROFINET® 或 DeviceNet™ I/O。数字控制电子设备利用最新的MKS控制算法，在整个设备控制范围内对设定点做出快速且可重复的响应。典型的响应时间约为 500 毫秒。数字校准在校准气体上产生1%的设定点精度。

流速从 5 到 50，000 sccm

金属密封，带特氟龙阀塞

多种数字（以太网、设备网™、Profibus®、PROFINET 和 RS485）或模拟（0-5 VDC 或 4-20 mA）I/O

标准闭合电导泄漏率小于满量程的1.0%

小于 750 毫秒的建立时间

美国mks GM50A和GM51A数控质量流量控制器

规格

类型               质量流量控制器

满量程流量范围      5 - 50000 sccm（相当于N2）

控制范围            满量程的2-100%

最大入口压力         150 磅/平方英寸

正常工作压差         10 至 5000 sccm;10 至 40 个 PSID，10000 至 20000 个 SCCM;15 至 40 个 PSID，30000 至 50000 SCCM;25 至 40 psid

耐压                1000 磅/平方英寸

爆破压力             1500 磅/平方英寸

典型精度             20% 至 100% 满量程时为设定点的 ±1%，±2% 至 20% 满量程时为满量程的 0.2%

重复性              ± 0.3% 读数

分辨率              满量程的 0.1%

零温度系数          <满量程的0.05%/°C

量程温度系数         读数的<0.08%/°C

入口压力系数        <读数/平方英寸的 0.02%

典型建立时间<750 毫秒，典型值高于 5% 满量程

预热时间            30 分钟

工作温度            10°C 至 50°C

储存湿度            0 至 95% 相对湿度，无冷凝

储存温度            -20° 至 80°C

外部泄漏完整性<1 x 10-10（SCC/秒 He）

通过关闭阀门实现泄漏完整性<1.0% 满量程，40 psig 入口大气

接液材料            316L S.S. VAR， 316 S.S.， Elgiloy®， 镍， KM45

重量                   3 磅（1.4 千克）

合规                行政长官

GM50A和GM51A数控质量流量控制器型号：

GM50A013101RMM020     GM50A013101SMM020     GM50A013102RMM020     GM50A013103RMM020

GM50A013103SMM020     GM50A013201RMM020     GM50A013202RMM020     GM50A013203RMM020

GM50A013204RMM020     GM50A013204SMM020     GM50A013501RMM020     GM50A013502RMM020

GM50A013503RMM020

多种数字和模拟接口选择

GM50A 数控 MFC 提供模拟或数字 I/O。数字控制电子设备采用最新的MKS控制算法，在整个设备控制范围内对设定点提供快速且可重复的响应。典型的响应时间约为 500 毫秒。GM50A 的模拟和数字 I/O 可轻松用于替换 1179A MFC 的相同 I/O 类型。所有GM50A都包括Modbus作为可用的辅助I / O（不包括PROFINET®和EtherCAT®）。

标准 3 英寸基底面

GM50A 利用 5 sccm 至 50 slm 流速范围内 MFC 常用的标准 3 英寸占地面积，无需修改现有的气体管路配置即可使用。

金属密封

GM50A 金属密封 MFC 具有 10 μ 英寸的电解抛光 316L 表面光洁度，使该质量流量控制器可用于高纯度应用。

设定值精度百分比

随附的数字校准可在满量程流量范围的 20% 至 100% 的 N2 校准气体下产生 1% 的设定点精度。设定点精度可实现精确的过程控制，而不是相对于满量程规定的精度。对于 2% 至 20% 满量程的质量流量，精度为满量程的 ±0.2%。

嵌入式用户界面

嵌入式用户界面提供了轻松更改设备范围和用户气体的能力，从而降低了库存要求。您还可以监视 MFC 功能并原位收集性能数据。