G300C 质量流量控制器特点 

 高精度、高分辨率控制 

 低功率，功率＜2W 

 集成 20 种基础气体种类 

 可自定义 10 种混合气体

 控制参数自整定功能 

 数字化控制，RS-485 Modbus RTU 通信模式

 宽流量量程范围 

 无需预热

 无安装方向限制 

 具有高重复性和高可靠性 

 采用电磁比例阀，使用寿命长，响应速度快 

 自带温度补偿，补偿范围 0-50℃ 

 内部闭环控制，具有高稳定性

 小封装尺寸 量程及精度简介 

 可用量程： 

 最大 0-50slpm 

 最小 0-1sccm 

 常备量程请参考选型表 

 量程比：1000:1 

 满量程精度：±0.2% 

 读取精度：±0.8% 

 可重复性：±0.2%FS

 响应时间：＜100ms（调节 PID 控制参数可缩 短响应时间） 

数字式设计简介 G300C 系列质量流量控制器标配高精度传 感器和数字电路，数字电路可完成测量及控制所 需的所有基本功能。G300C 系列采用标准的 RS-485 Modbus RTU 通信模式。RS-485 总线最高 可扩展至 255 台设备同时使用。 

应用领域 

 气相和液相色谱仪 

 半导体工艺 

 环境监测设备 

 微反应装置及材料制备实验装置（CVD） 

 气体发生器

 配气混气系统