G100C质量流量控制器特点

l 高精度、高分辨率控制

l DC 9-36V宽电压供电

l 低功率，功率＜2W

l 集成40种基础气体种类

l 可自定义10种混合气体

l 控制参数自整定功能

l 数字化控制，RS-485 Modbus RTU通信模式

l 宽流量量程范围

l 无需预热

l 无安装方向限制

l 具有高重复性和高可靠性

l 采用电磁比例阀，使用寿命长，响应速度快

l 自带温度补偿，补偿范围0-50℃

l 内部闭环控制，具有高稳定性

l 小封装尺寸

量程及精度简介

l 可用量程：

n 最大0-20slpm

n 最小0-10sccm

n 常备量程请参考选型表

l 量程比：100:1

l 满量程精度：±0.5%

l 读取精度：±1%

l 可重复性：±0.5%FS

l 响应时间：＜100ms（调节PID控制参数可缩短响应时间）

数字式设计简介

G100C系列质量流量控制器标配高精度传感器和数字电路，数字电路可完成测量及控制所需的所有基本功能。G100C系列采用标准的RS-485 Modbus RTU通信模式。RS-485总线最高可扩展至255台设备同时使用。

应用领域

l 气相和液相色谱仪

l 半导体工艺

l 环境监测设备

l 微反应装置及材料制备实验装置（CVD）

l 气体发生器

l 配气混气系统