一、产品概述

HRSR膜厚传感器提供半导体复杂膜层在线量测解决方案。

二、膜厚传感器产品特点

■ 超精密厚度测量，满足5μm-800um的厚度监测 ；

■ 可测量所有具有粗糙、反射或不透明表面 ；

■ 对恶劣的工业环境适应性高 ；

■ 对热、湿或振动不敏感；

■ 采样速率大于3KHz。

三、测量原理

技术参数

武汉颐光科技有限公司(Wuhan eoptics Technology Co., Ltd.)是国内专业从事椭偏仪以及光学纳米测量设备研发、制造与销售的高新技术企业，公司由多位具有二十多年偏振光学测量经验的专家联合创办，与华中科技大学紧密合作，是国内椭偏光学仪器领域颇具优势的技术团队。

公司注册于武汉东湖国家自主创新示范区，立足光谷，面向全球，为科研和工业用户提供仪器、软件、服务等综合解决方案。

产品广泛应用于集成电路、半导体、光伏太阳能、平板显示、LED照明、存储、生物、医药、化学、电化学、光学镀膜、光刻材料等众多领域。