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双电测量四探针方阻电阻率测试仪亦称双位组合)测量新技术,将范德堡测量方法推广应用到直线四探针上,利用电流探针、电压探针的变换,在计算机控制下进行两次电测量,能自动消除样品几何尺寸、边界效应以及探针不等距和机械游移等因素对测量结果的影响。因而每次测量不必知道探针间距、样品尺寸及探针在样品表面上的位置。由于每次测量都是对几何因素的影响进行动态的自动修正,因此显著降低了几何因素影响,从而提高了测量结果的准确度。所有这些,用目前大量使用的常规四探针测量方法所生产的仪器是无法实现的。是一个运行在计算机上拥有友好测试界面的用户程序。
双电测量四探针方阻电阻率测试仪测试程序控制四探针测试仪进行测量并采集测试数据,把采集到的数据在计算机中加以分析,然后把测试数据以表格,图形直观地记录、显示出来。用户可对采集到的数据在电脑中保存或者打印以备日后参考和查看,还可以把采集到的数据输出到Excel中,让用户对数据进行各种数据分析1、测量范围:电阻率:0.001-200Ω.cm(可扩展)薄层电阻:0.01-2000Ω/口(可扩展)可测晶片厚度:≤3.00mm2、恒流电源:电流分为100mA、1mA、10mA、 100ma 四档 ;连续可调;稳定度优于0.3%3、数字电压表:量程:0-199.99mV;分辨率:0.01mV精度:±0.1%显示:四位半红色发光管数字显示。极性、小数点、超量程自动显示;4、模拟电路测试误差:(用1、10、100、1000 ?精密电阻测量)≤±0.3%±1字
测量范围电阻率:10-4~105Ω.cm(可扩展);
方块电阻:10-3~106Ω/□(可扩展);
电导率:10-5~104s/cm;
电阻:10-4~105Ω;
可测晶片厚度≤3mm
四探针探头基本指标间距:1±0.01mm;
针间绝缘电阻:≥1000MΩ;
机械游移率:≤0.3%;
探针:碳化钨或高速钢Ф