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纳米压印系统

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巨力光电（北京）科技有限公司

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产品简介

纳米压印系统，针对大学实验室、研究所微纳米加工研究设计，配备温度控制和低压控制系统，使用方便，性能稳定可靠；同时配合专业设计的压印模板，可实现各种微纳米图形加工，特征线宽小于20nm；

应用领域：

光学器件，显示器，数据存储，生物技术，半导体芯片，化学合成，新型材料等

技术性能：

*操作方便

*可升级功能

*客户可根据需求定制设备功能

*用户通过触摸屏来程序化控制处理过程；

*用户可自主设定工艺参数；

*真空吸附模板和Wafer

*具备UV固化功能

*Wafer尺寸：4英寸；

*压印尺寸：2英寸；

*压印压力：0~25PSI（可升级到大100PSI）
*模板尺寸：5×0.09英寸
*典型压印时间：小于5分钟/wafer

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