MFC-E系列可控制、经济型质量流量控制器（Mass Flow Controller）是基于业内*的微机电（MEMS）流量传感器芯片技术，结合高速采样处理技术和数字补偿算法，所开发的一款智能化、高精度可进行准确的质量流量控制的气体质量流量控制器产品。该产品配备有进口电磁比例阀、316L不锈钢气路座、高精度微机电流量芯片等，具有精度高、响应速度快、稳定性好等特点。操作使用方便，可任意位置安装，广泛用于电子工艺设备、真空镀膜、石油化工、冶金、制药、光纤熔炼、分析测量仪器、制气配气等行业。输出信号可选择：4-20mA和1-5V模拟信号，以及RS485等数字通信方式。

MFC-E系列可控制、经济型质量流量控制器应用于：半导体加工、分析和环保、燃烧控制器、真空技术、表面处理 、食品和制药、化工（石化）等过程控制

产品特点：

温度和压力不敏感

*的零点稳定性

超快的响应速度

良好的重复性和再现性

多种信号输出方式

配备进口比例电磁阀