MFC-E系列质量流量控制器（Mass Flow Controller）是基于业内*的微机电（MEMS）流量传感器芯片技术，结合高速采样处理技术和数字补偿算法，所开发的一款智能化、高精度可进行准确的质量流量控制的气体质量流量控制器产品。该产品配备有进口电磁比例阀、316L不锈钢气路座、高精度微机电流量芯片等，具有精度高、响应速度快、稳定性好等特点。操作使用方便，可任意位置安装，广泛用于电子工艺设备、真空镀膜、石油化工、冶金、制药、光纤熔炼、分析测量仪器、制气配气等行业。输出信号可选择：4-20mA和1-5V模拟信号，以及RS485等数字通信方式。

产品应用

• 半导体加工

• 分析和环保

• 燃烧控制器                      

• 真空技术

• 表面处理                      

• 食品和制药

• 化工（石化）等过程控制