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FMSXXY170Z-200-200直线电机龙门双驱平台
l产品行程可定制，本品为示例样机
l⼀体化大理石台面设计
lX轴采用龙门双驱，同步性好
lY轴预留Z轴挂载接口
l静音位移台
l免费标准版SDK
l⾼性能控制器
l可选配EtherCAT总线控制
产品简介
FMSXXY170Z-200-200直线电机龙门双驱平台：我们研发的⼤理石龙门双驱位移台，双向重复定位精度可达亚微米级。行程、精度、承载均可定制。采用双驱结构，同步性更好、承载更高。Y轴可挂载Z轴。结合CCD等器件，可做成套设备交付客户使用。
产品应用
l点胶机
l显微扫描
l机器视觉
l瑕疵检测
l晶圆检测
l⽣物三D打印
性能实测
FMSXXY170-X轴
FMSXXY170-Y轴
接线定义
电机接⼝
反馈接⼝
产品图纸
FMSXXY170Z-200-200
产品参数
Model | FMSXXY170Z-200-200 |
⾏程(mm) | 200(XY) |
负载(Kg) | 30 |
分辨率(μm) | 0.05 |
最⼩步进量(μm) | 0.2 |
单向重复定位精度/保证值(μm) | ±0.5 |
单向重复定位精度/典型值(μm) | ±0.3 |
双向重复定位精度/保证值(μm) | ±1 |
双向重复定位精度/典型值(μm) | ±0.5 |
定位精度/保证值(μm) | ±2 |
定位精度/典型值(μm) | ±1 |
最⼤速度(mm/s) | 500 |
直线度(μm) | 10 |
平整度(μm) | 10 |
偏摆 | 10 |
俯仰 | 10 |
重量(kg) | 52 |
