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FMSR-AB高精度气浮转台
l闭式气浮轴承结构
l直驱驱动，零齿槽效应
l微米级跳动误差
l免费标准版SDK
l高性能控制器
l可选配EtherCAT总线控制
产品简介
FMSR-AB高精度气浮转台：我们研发的FMSR-AB系列气浮转台采用经过特殊设计的空气轴承,该轴承分别对刚度、承载能力和刚度进行了优化。与传统的轴承相比,采用气体为润滑剂,因此所有运动都是无接触的,因此在整个使用寿命之内,设备的性能保持不变,并且无需进行特殊维护。该旋转台采用气体轴承可提供平稳的运动并拥有极低的俯仰、偏摆、滚动、偏航和线性误差。另其具有清洁、无污染、无摩擦、运行阻尼小、使用寿命久等*性能。
产品应用
l圆度测量系统
l微米或纳米断层扫描成像
l精密制造
l同步辐射或X射线
l半导体行业
产品图纸
FMSR150-AB
FMSR200-AB
FMSR250-AB
产品参数
Model | FMSR150-AB | FMSR200-AB | FMSR250-AB |
⾏程(°) | 360 | 360 | 360 |
额定扭矩(N.M) | 0.54 | 1.9 | 4.2 |
峰值扭矩(N.M) | 2.2 | 5.8 | 15.8 |
负载(Kg) | 30 | 30 | 60 |
分辨率(arcsec) | 0.2 | 0.2 | 0.2 |
最⼩步进量(arcsec) | 1 | 1 | 1 |
单向重复定位精度/保证值(arcsec) | ±2 or 4 | ±2 or 4 | ±2 or 4 |
单向重复定位精度/典型值(arcsec) | ±1 or 2 | ±1 or 2 | ±1 or 2 |
双向重复定位精度/保证值(arcsec) | ±3 or 6 | ±3 or 6 | ±3 or 6 |
双向重复定位精度/典型值(arcsec) | ±2 or 4 | ±2 or 4 | ±2 or 4 |
定位精度/保证值(arcsec) | ±5 or 10 | ±5 or 10 | ±5 or 10 |
定位精度/典型值(arcsec) | ±4 or 8 | ±4 or 8 | ±4 or 8 |
最⼤速度(RPM) | 200 | 200 | 120 |
端跳(μm) | 1 | 2 | 2 |
径跳(μm) | 0.05 | 0.05 | 0.05 |
供气压力(MPa) | 0.4-0.6 | 0.4-0.6 | 0.4-0.6 |
重量(kg) | 15 | 25 | 30 |
