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FMS80V系列真空步进电机高精度通用平移台
l行程覆盖50mm、100mm、150mm
l坚固的台身设计
l真空环境使⽤
l免费标准版SDK
产品简介
FMS80V系列真空步进电机高精度通用平移台：在FMS80基础上，我们设计了FMS80V系列真空专⽤位移台。FMS80V广泛适用于真空环境的应⽤中，在-196 ~ +250℃的高低温环境、多种辐射环境以及真空度10-7 ~ 10-3Pa环境中仍然能够保持高精度运行。
产品应用
l激光打靶
l器件调整
l⾼能物理
性能实测
接线定义
电机接⼝
产品图纸
FMS80V-50
FMS80V-100
FMS80V-150
产品参数
Model | FMS80V-50 | FMS80V-100 | FMS80V-150 |
⾏程(mm) | 50 | 100 | 150 |
负载(Kg) | 10 | 10 | 10 |
分辨率(μm) | 0.625 | 0.625 | 0.625 |
最⼩步进量(μm) | 1 | 1 | 1 |
单向重复定位精度/保证值(μm) | ±1 | ±1 | ±1 |
单向重复定位精度/典型值(μm) | ±0.5 | ±0.5 | ±0.5 |
双向重复定位精度/保证值(μm) | ±2 | ±2.5 | ±3 |
双向重复定位精度/典型值(μm) | ±1 | ±1 | ±1.5 |
定位精度/保证值(μm) | ±10 | ±12 | ±15 |
定位精度/典型值(μm) | ±5 | ±6 | ±8 |
最⼤速度(mm/s) | 10 | 10 | 10 |
直线度(μm) | 10 | 12 | 15 |
平整度(μm) | 10 | 12 | 15 |
偏摆 | 20 | 25 | 30 |
俯仰 | 20 | 25 | 30 |
重量(kg) | 4 | 4.4 | 4.8 |
