其他品牌 品牌
代理商厂商性质
上海市所在地
FMSZ真空步进电机升降台
l行程覆盖20mm、50mm
l真空专用电机，真空度高
l不锈钢主体设计，理想真空材料
l免费标准版SDK
l高性能控制器
l可选配EtherCAT总线控制
产品简介
FMSZ真空步进电机升降台：我们开发的FMSZ系列真空步进电机升降台。经过特殊设计，方便与我们的其余产品搭建成多维位移台。承载高，并可定制其它行程。搭配FMC01系列控制器。
产品应用
l样品台
l姿态调整
l光学测试
l光学设备
性能实测
FMSZ85VR-20
FMSZ115VR-50
FMSZ80V-50
接线定义
电气接⼝
产品图纸
FMSZ85VR-20
FMSZ115VR-50
FMSZ80V-50
产品参数
Model | FMSZ85VR-20 | FMSZ115VR-50 | FMSZ80V-50 |
⾏程(mm) | 20 | 50 | 50 |
负载(Kg) | 5 | 10 | 10 |
分辨率(μm) | 0.625 | 0.625 | 0.625 |
最⼩步进量(μm) | 2 | 2 | 1 |
单向重复定位精度/保证值(μm) | ±1 | ±2 | ±1 |
单向重复定位精度/典型值(μm) | ±0.5 | ±1 | ±0.5 |
双向重复定位精度/保证值(μm) | ±2.5 | ±3 | ±2 |
双向重复定位精度/典型值(μm) | ±1 | ±2 | ±1 |
定位精度/保证值(μm) | ±15 | ±20 | ±10 |
定位精度/典型值(μm) | ±10 | ±15 | ±5 |
最⼤速度(mm/s) | 10 | 10 | 20 |
直线度(μm) | 15 | 15 | 10 |
平整度(μm) | 15 | 15 | 10 |
偏摆 | 30 | 40 | 30 |
俯仰 | 30 | 40 | 30 |
重量(kg) | 3.2 | 6.8 | 5.2 |
