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FMS80VR真空步进电机高精度整体台面平移台
l行程覆盖30mm、50mm
l坚固的台身设计
l真空环境使用
l免费标准版SDK
产品简介
FMS80VR真空步进电机高精度整体台面平移台：在FMS80R系列基础上，我们设计了FMS80VR系列真空专用位移台。FMS80VR广泛适用于真空环境的应用中，在-196 ~ +250℃的高低温环境、多种辐射环境以及真空度10-7~ 10-3Pa环境中仍然能够保持高精度运⾏。
产品应用
l激光打靶
l器件调整
l高能物理
性能实测
接线定义
电气接口
产品图纸
FMS80VR-30
FMS80VR-50
产品参数
Model | FMS80VR-30 | FMS80VR-50 |
⾏程(mm) | 30 | 50 |
负载(Kg) | 10 | 5 |
分辨率(μm) | 0.625 | 0.625 |
最⼩步进量(μm) | 1 | 1 |
单向重复定位精度/保证值(μm) | ±1 | ±1 |
单向重复定位精度/典型值(μm) | ±0.5 | ±0.5 |
双向重复定位精度/保证值(μm) | ±2 | ±2 |
双向重复定位精度/典型值(μm) | ±1 | ±1 |
定位精度/保证值(μm) | ±10 | ±10 |
定位精度/典型值(μm) | ±5 | ±5 |
最⼤速度(mm/s) | 10 | 10 |
直线度(μm) | 10 | 10 |
平整度(μm) | 10 | 10 |
偏摆 | 20 | 30 |
俯仰 | 20 | 30 |
重量(kg) | 2.8 | 2.8 |
